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神谷 富裕; 湯藤 秀典*; 田中 隆一
Proc. of the lst Meeting on the Ion Engineering Society of Japan, p.105 - 110, 1992/00
原研高崎の3MVタンデム加速器のビームラインに設置された重イオンマイクロビーム装置において0.85
1.2
m
のビームスポットサイズが達成された。本装置は、2連四重極レンズを用いて重イオンビームを集束し、ターゲットの任意の微視的領域にマイクロビームを照準できるように設計されている。さらに、宇宙船において使用される半導体デバイスのシングルイベント効果の基礎的な機構を解明するために、目的の位置にイオンを1つ1つヒットさせるシングルイオンヒットシステムが組込まれる。